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儀器
臭氧設(shè)備
臭氧水處理系統(tǒng)PAP-SC-2000

臭氧水處理系統(tǒng)PAP-SC-2000

型號(hào)：
PAP-SC-2000
簡(jiǎn)介：
用于水處理和水消毒的氧化系統(tǒng)
品牌：
Anseros 安索羅斯
產(chǎn)地：
德國(guó)

詢價(jià)單

應(yīng)用產(chǎn)品介紹技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用

氧化和清潔硅片

IMEC和RCA清潔流程

UPW系統(tǒng)

高級(jí)氧化工藝AOP

三相系統(tǒng)

生物降解DOC

滅菌

消毒CIP

半導(dǎo)體&光伏

制藥和醫(yī)療技術(shù)

產(chǎn)品介紹

特別是在半導(dǎo)體加工中，需要完全清潔的臭氧系統(tǒng)。在處理過(guò)程中從臭氧系統(tǒng)發(fā)射到半導(dǎo)體表面的任何金屬和顆粒（Wafer/IMIC/RCA/SOM等）都會(huì)影響芯片的質(zhì)量。包括其組件——例如臭氧發(fā)生器COM-AD或臭氧監(jiān)測(cè)器WM——在內(nèi)，Anseros的PAP-SC系統(tǒng)完全不含與臭氧接觸的金屬。無(wú)論是否有酸，它們都可以進(jìn)行清潔的濕法和干法加工。為了確保安全，PAP-SC系統(tǒng)包括一個(gè)CAT-HO臭氧破壞器。

技術(shù)參數(shù)

去離子水流量：100 - 2000 l/h

O3：1 - 100 ppmw

與臭氧接觸的材料：PFA、石英

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